中国报告大厅网讯，2025 年末国产光刻机亿元级订单的落地，成为国内半导体设备领域国产化进程的关键节点，这一突破不仅标志着国产光刻机实现了从技术验证到市场应用的核心跨越，更在半导体设备国产化率达 35% 的行业背景下，为光刻机产业链的国产替代按下加速键。当前国产光刻机已在成熟制程领域实现技术与量产的双重覆盖，同时也面临着高端制程技术代差、核心子系统短板等行业挑战，光刻机行业的投资逻辑正围绕着国产替代的推进节奏、技术突破的落地速度以及产业链协同发展的成效逐步清晰。
2025 年 12 月 25 日，中国政府采购网公布的单一来源采购成交公告，让国产光刻机领域迎来标志性突破，上海微电子装备(集团)股份有限公司以 10999.985 万元的价格，中标科学技术部下属实验室的步进扫描式光刻机采购项目，该项目总预算为 1.13 亿元，成交设备为型号 SSC800/10 的 SMEE 品牌步进扫描式光刻机，单价达 109999850 元。
这一亿元级订单并非普通的商业交易，而是国产高端光刻装备首次以该规模订单的形式进入国家级科研体系的核心工艺链，成为国产光刻机发展历程中具有里程碑意义的信号，真正实现了国产光刻机从技术验证到市场应用 “从 0 到 1” 的关键跨越。此次采购采用单一来源采购方式，依据相关政府采购法规，该方式仅适用于货物或服务采用不可替代的专利、专有技术，或公共服务项目有特殊要求的情况，这一选择充分印证了相关企业在该型号光刻机上具备国内唯一且不可替代的技术能力，也是国家重视半导体供应链安全与技术自主性的直接体现，而采购主体使用的保密代码，更凸显出该光刻机采购项目的战略性与重要性。
此次中标的 SSC800/10 型步进扫描式光刻机，其 “SSC” 为相关企业首次公开的型号代号，这款光刻机具备分辨率≤110 纳米和套刻精度≤15 纳米的核心性能指标，这一技术水平让该光刻机能够支持 0.18 微米及以下的先进工艺节点，适用于微米乃至亚微米级结构的高均匀性、高稳定性加工，尤其能够满足高密度神经电极阵列制造等前沿科研领域，对极细线宽和高对准精度的苛刻要求，让国产光刻机在实际应用层面具备了核心竞争力。
在此之前，国内相关企业已实现 90nm ArF 光刻机的量产，其 SSX600 系列步进扫描投影光刻机可满足 90nm、110nm、280nm 等关键层的光刻工艺需求，此次 SSC800/10 型光刻机的成功中标，进一步证明国产光刻机已摆脱单纯的技术 “可用” 阶段，进入到被国家级科研机构 “选用” 的新阶段，在成熟制程的科研与应用领域，国产光刻机的技术能力已得到权威认可，为后续向产业端落地奠定了坚实的技术基础。
评判国产光刻机的突破价值，需要将其置于全球光刻机技术谱系中进行客观对标，全球光刻机技术随光源类型迭代形成多代发展体系，第一代采用 g-line 光源，波长 436nm，最小分辨率 > 500nm;第二代采用 i-line 光源，波长 365nm;第三代采用 KrF 光源，波长 248nm，最小分辨率 180~130nm;第四代采用 ArF 浸没式光源，波长 193nm(浸没)，最小分辨率 < 40nm;第五代采用 EUV 光源，波长 13.5nm，最小分辨率 < 7nm，不同代际的光刻机分别由不同企业主导，其中 KrF 光源光刻机国内企业已实现布局，ArF 浸没式与 EUV 光源光刻机则由海外企业占据主导地位。
从核心性能来看，此次中标光刻机的分辨率≤110nm、套刻精度≤15nm，支持 0.18μm 及以下工艺节点，说明国产光刻机在成熟制程(如 90nm 及以上)领域，已经实现了从技术到量产的能力覆盖，达到了满足部分先进科研与产业需求的技术水平。但同时也需清晰认识到，全球光刻机高端市场长期由海外企业主导，海外主流深紫外(DUV)光刻设备通过多重曝光技术已能支持 7nm 以下的先进制程，套刻精度优于 1.5nm，国产光刻机在先进制程支持方面仍存在明显代差。此外，国产光刻机在量产稳定性、交付能力，以及高端投影物镜、极紫外(EUV)光源等核心子系统方面，仍存在短板或面临外部供应链风险。
综合来看，当前国产光刻机的行业定位十分清晰：在成熟制程及特定细分应用领域，已实现国产替代的 “可用” 和 “可替”，打破了该领域国产前道光刻机商业订单 “零的纪录”;但在面向 7nm、5nm 乃至更先进节点的高端光刻机市场 “主战场” 上，国产光刻机仍处于奋力 “跟跑” 的阶段。这一定位决定了现阶段国产光刻机的市场角色，更多是为国内半导体产业构建供应链 “备份” 能力，降低对单一外部光刻机供应商的依赖，并在实际应用中为最终冲击高端光刻机领域积累宝贵的工程化经验。
光刻机是半导体制造领域的核心设备，其产业链上游涵盖材料、设备及各类核心组件，包括光刻胶、电子特气、CMP 抛光液、掩模版，以及涂胶显影设备、激光器、双工件台、光学系统等，一台高端 EUV 光刻机更是包含超过 10 万个精密零件，是多领域高端制造技术的集大成者。此次国产光刻机整机的亿元级订单落地与实际应用，将为上游光学部件(如投影物镜、照明系统)、精密机械(如工件台、掩模台)、控制软件，以及与之匹配的光刻胶等多个环节，提供真实工艺环境下的应用反馈和技术迭代需求，推动光刻机上游产业链各环节与整机的适配性升级。
在光刻机核心的光学系统领域，国内企业已在 28nm DUV 物镜等方面实现了一定程度的国产替代，光刻机整机的技术进步与市场应用，将进一步倒逼这些细分领域加快技术升级和产品可靠性提升。当前中国半导体设备行业正处于国产替代的关键阶段，2025 年上半年国内半导体设备国产化率较 2024 年同期提升 12 个百分点，整体国产化率已达 35%，光刻机作为半导体设备的核心品类，其国产化进程的推进将成为带动整个半导体设备产业链国产替代的重要抓手。
在光刻机关键配套材料光刻胶领域，行业发展同样呈现快速增长态势，2024 年我国光刻胶市场规模约为 80.5 亿元，同比增长 25.39%， 2025 年市场规模达约 97.8 亿元，其中 ArF/KrF 等与光刻机配套的高端光刻胶国产化率已突破 30%，光刻胶领域的国产替代与光刻机整机的发展形成了良好的协同效应。尽管此次光刻机的采购主体为科研机构，但国产光刻机在国家级项目中的成功应用，将显著增强国内晶圆制造厂对国产光刻机及配套设备、材料技术能力的信心，有助于推动形成 “使用 - 反馈 - 迭代” 的良性产业循环，为国产光刻机未来导入国内主流晶圆厂的成熟制程产线扫除部分心理障碍。同时，在 AI 驱动存储技术向 3D 化演进、国内主流存储芯片企业加速扩产的行业背景下，庞大的半导体设备市场需求，为光刻机及上下游产业链的国产替代提供了广阔的市场空间。
中国报告大厅《2026-2031年中国光刻机行业运营态势与投资前景调查研究报告》指出，2025 年末国产光刻机亿元级订单的落地，是国内光刻机领域实现从技术验证到市场应用的关键跨越，标志着国产光刻机在成熟制程领域已完成从 “可用” 到 “被选用” 的升级，也在半导体设备国产化率 35% 的背景下，撬动了光刻机全产业链的国产替代浪潮。当前国产光刻机已在 90nm 及以上成熟制程领域实现技术与量产的双重覆盖，成为国内半导体产业供应链安全的重要 “备份”，并为上游核心组件、配套材料的技术迭代提供了实际应用场景，光刻胶等配套领域的快速发展也与光刻机整机形成了协同发展的良好态势。
但同时也需正视，国产光刻机与全球高端水平仍存在明显代差，在先进制程支持、核心子系统自主化、量产稳定性等方面仍有诸多短板需要补齐。未来光刻机行业的发展，核心在于实现从 “实验室” 到 “生产线” 的落地，未来五年需重点关注晶圆厂国产光刻机采购占比、国产光刻机企业持续订单获取能力、相关专项研发资金支持力度、光刻机领域核心专利增长曲线四大核心指标。只有推动国产光刻机真正进入产业端的成熟制程产线，实现规模化商业应用，才能进一步带动上下游产业链的协同升级，逐步缩小与全球高端光刻机技术的差距，最终为中国半导体产业构筑起自主可控的核心基石，而这也将成为 2026 年及未来一段时间，光刻机行业投资与发展的核心逻辑与方向。
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